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日立分析仪器:为什么要选择毛细管聚焦XRF技术?

2020年10月28日 10:44 来源:日立分析仪器(上海)有限公司
  随着电子设备和电子元件越来越小、越来越复杂,这些元件上所做的金属修饰面也变得越来越小型化——如更薄的镀层——更严格的偏差控制。如果镀层厚度低于给定指标,产品将不符合性能要求,且可能会过早出现故障,从而导致保修索赔和声誉受损。如果镀层太厚,将造成材料和成本浪费,并且进而可能引起机械贴合问题,从而导致报废或高昂的返工费用。
 
  因为是非破坏性的快速、直接测量,X射线荧光(XRF)成为一种广泛使用的镀层厚度和成分测量技术。为测量小型化的镀层,传统XRF分析仪使用机械准直装置将X射线管的光束尺寸减小到几分之一毫米。这一过程通过在X射线管前方设置一块钻有固定形状小孔的金属块来实现,仅允许与孔对准的X射线穿过并到达样品。绝大多数X射线输出不能用于分析,而是被准直器块阻挡吸收于仪器内部。
 
  新的微小测量点测试解决方案是使用毛细聚焦管光学元器件。这是一个聚焦光学元件,由一组弯曲为锥形的细小玻璃管组成。X射线通过反射引导穿过管道,类似于光纤技术中的光引导方式。毛细聚焦管光学元件与微束X射线管匹配以收集更多的X射线管输出。其焦斑小区域上的X射线强度比机械准直系统高出几个数量级。XRF镀层测厚仪中的毛细聚焦管光学元件可带来以下的优势:
 
  更小的点位测量
 
  更薄的镀层测量
 
  更高的测试量和更高的置信度
 
  更符合测试方法标准
 
  无疑这些优势将为镀层测试的能力带大的提升。

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